• 半導體材料

  • 氧氯化磷 POCl3

    品牌: YAMANAKA

    高純度半導體擴散製程材料、太陽能電池化學材料、光纖化學材料
    POCl3 氧氯化磷。BBr3 三溴化硼
    用途:擴散、摻雜、用在矽晶片的 N 型摻雜、半導體製程、太陽能電池、光纖預製棒、分離器件等的液態源。

  • 氧氯化磷自動供應系統

    品牌: YAMANAKA

    全自動氧氯化磷(POCl3)中央供應系統(PVRefill System)。

    主要特點為 :


    1、中央供應輸送POCl3液體材料至擴散機台爐管玻璃瓶。

    持續維持瓶內中高液位使擴散製程氣體流量更穩定。


    2、減少停機更換玻璃瓶的時間。可增加晶片產出量,

    且降低工安風險。


    3、零殘料,節省殘料成本。

  • 金屬 - 晶圓摻雜

    品牌: YAMANAKA

    矽晶棒拉晶製程中P型、N型摻雜固態金屬原料
    P型:超高純度硼 (Boron)。
    N型:紅磷 (Red Phosphor)、砷(As)、銻(Sb)。
    提供各種尺寸的不規則塊狀(chunk)、粉末(Powder)、顆粒(Shot)。

  • 塗佈式玻璃SOG

    品牌: DESERT SILICON

    提供塗佈式玻璃 SOG(Spin-on-Glass)/SOD(Spin-on-Dopant)液體溶液。利用旋轉、噴塗或浸塗法於基板上形成固體薄膜介質層(thin film dielectric layer)。
    客製配方,根據不同的製程需求提供多樣不同的Spin-on Dopant(SOD)摻雜選擇。
    應用在微晶片、太陽能、光電子、半導體封裝、微機電(MEMS)等。
    如:Ga2O3 MOSFET、Diode、Trench Fill、Smoothing & Masking、Wafer Bonding、BCP/IBC(interdigitated back contact)Solar Cell及其他產品應用。

  • 金屬 - 製程用

    品牌: YAMANAKA & MITSUWA

    高純度蒸鍍用金屬(metal for filament & e-beam evaporator)/稀土金屬(rare earth Metals)。
    依製程需求提供多樣的元素、合金、化合物,包括鈦(Ti)、鋁(Al)、鎳(Ni)、磷化鋅(Zn3P2)、砷化鋅(Zn3As2)以及稀土金屬材料鈧(Sc)、釔(Y)和鑭(La)系元素等。
    各式金屬、金屬化合物及合金,小包裝以滿足客戶之需求。
    根據不同的製程需求提供多樣的金屬、化合物選擇。

  • SS316 不锈鋼瓶

    品牌: PFL

    PFL生產的鋼瓶(Cylinder、Bubbler)通過業界高安規之DOT認證。採用SS316不锈鋼材質為主。可因應客戶需求製作從50mL~60L各種容量的製品。與各大閥件商合作可提供客戶需求的閥件。亦可選配含液位偵測與測溫功能之產品。主要用於裝填先驅化學品(Precursor)及特殊有機金屬(Metal-Organic Source),應用於有機金屬化學氣相沈積(MOCVD)、化學氣相沈積(CVD)、原子層沈積(ALD)等半導體薄膜製程。

    所有文章
    ×